氮化铝陶瓷:微电子工业电路基板及封装的理想结构材料

2024-07-13
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随着微电子技术的飞速发展,电子器件正朝着多功能化、微型化、高集成度及大功率方向迈进,这一趋势导致了器件工作时产生大量热量的问题日益凸显。为避免过热导致的性能衰退甚至失效,寻找具备高热导率的基板材料成为关键。氮化铝(AlN),凭借其卓越的导热性能,成为了新一代基片材料的理想选择。由其制备的氮化铝陶瓷,是近年来新材料领域的研究热点,在电子工业中的应用潜力巨大,不限于散热解决方案,其高温耐蚀性、稳定性、高强度与硬度也预示着在高温结构材料领域的广泛应用前景。

氮化铝作为一种共价键主导的化合物,难以进行固相烧结,通常采用液相烧结机制,即向氮化铝原料粉末中加入能够生成液相的烧结助剂,并通过溶解产生液相,促进烧结。

作为一种人工合成的材料,氮化铝陶瓷的制备过程通常是先合成氮化铝粉体,再将得到的粉体烧结制备成陶瓷。由于氮化铝中的铝-氮键(Al-N)具有较高的共价键成分,所以氮化铝的熔点高,自扩散系数小,烧结活性低,因此是一种难烧结的陶瓷材料。据了解,当氮化铝粉体纯度较高时,非常难以通过烧结达到完全致密,在陶瓷晶粒中或晶界处均有气孔存在,这极大地限制了氮化铝陶瓷的实际应用。引入合适的烧结助剂,一方面可以与AlN表面氧化形成的Al2O3反应生成较低熔点的第二相,由于液相表面的张力作用,促进AlN晶粒的重排,加速烧结体致密化进程。另一方面形成的第二相冷却后,淀析凝结在晶界上,减少了高温下氧进入晶格的可能,起到净化晶格,提高热导率的作用。目前常用的烧结助剂主要为氧化物和氟化物,氧化物主要为Y2O3,Sm2O3,La2O3,Dy2O3,CaO;而氟化物有CaF2,YF3等。其中Y2O3驱氧能力强,稳定性好等综合性能优越,成为最常用的烧结助剂;而CaO由于液相形成温度较低,在低温烧结中的作用比较明显。

氮化铝陶瓷以其室温下的高强度、低热膨胀系数、高热导率等特性,成为耐热冲击及高效热交换的理想材料,尤其适用于燃气轮机热交换器等高温环境。在微电子领域,氮化铝陶瓷基板凭借其高热导率、低膨胀系数、高强度、耐腐蚀、优良电性能及光传输特性,成为大规模集成电路散热基板与封装材料的首选。

随着电子信息技术的持续进步,对PCB基板的小型化、功能集成化及高散热、耐高温性能的需求日益增长,传统基板材料已难以满足市场需求,氮化铝陶瓷基板行业正迎来前所未有的发展机遇。

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