氮化铝ALN理论热导率为320W/(m·K), 为何应用于陶瓷中却很难达到?

2024-09-02
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氮化铝(AlN)作为一种先进陶瓷材料,其理论上的热导率高达320W/(m·K),然而实际生产中却难以完全达到这一数值,这背后隐藏着多重原因。

传统上,大功率混合集成电路多采用Al₂O₃和BeO陶瓷作为基板材料。然而,Al₂O₃虽成本低廉,但其热导率较低,且热膨胀系数与硅材料不匹配,影响了器件的性能。另一方面,BeO尽管综合性能卓越,但高昂的生产成本及剧毒性极大地限制了其广泛应用。因此,从性能提升、成本控制及环保需求等多维度考量,这两种材料已难以满足现代电子器件发展的需求。

氮化铝陶瓷以其独特的综合性能脱颖而出,成为新一代备受瞩目的材料。其高热导率、低介电常数与损耗、优异的电绝缘性以及与硅相匹配的热膨胀系数,加之无毒特性,使之成为高密度、大功率及高速集成电路基板与封装的理想选择。然而,氮化铝的高热导率这一显著特性,在实际应用中却常因多种因素而未能充分发挥。

首要原因在于氮化铝材料中的杂质与缺陷。氮化铝粉末中常含有氧、碳等杂质元素,以及少量的金属离子杂质,这些杂质在晶格中引入各种缺陷,如点缺陷、线缺陷等,这些缺陷会增强声子的散射效应,从而显著降低材料的热导率。特别是氧元素,由于氮化铝易于水解和氧化,表面易形成Al₂O₃层,进一步加剧了晶格中的缺陷程度。

晶体导热率公式.png

进一步分析,声子的平均自由程(l)是决定材料热导率的关键因素。在氮化铝中,晶体的缺陷、晶界、空洞、电子以及声子间的相互作用都会引发声子散射,缩短声子的平均自由程,进而影响热导率。特别是氧杂质,不仅因其高置换可溶性易形成氧缺陷,还会在更高浓度下形成更为复杂的延展缺陷,如含氧层错、反演畴等,这些均显著增加了声子的散射截面,降低了氮化铝的热导率。

综上所述,氮化铝中氧杂质及其他缺陷的存在,是导致其实际热导率远低于理论值的主要原因。因此,在氮化铝的制备过程中,严格控制原料纯度,优化烧结工艺,减少晶格缺陷,是提高氮化铝热导率的关键途径。


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